TDR測定装置・TDR測定器のリーディングカンパニー「マイクロクラフト」

  • TDR/VNA測定装置 Sarra
  • TDR/VNA測定装置

大量の基板を24時間無人で測定可能。
省人化を実現するオートローダータイプ。

HTA3540AL

HTA3540AL

オートローダー付 TDR測定システム
HTA3540AL
中央に測定部、左右にオートローダー/アンローダーを接続したオートローダータイプ。520枚 * の基板をセットして無人運転が可能です。右側のローダーから測定部へ搬送された基板は、測定完了後、OK基板は左側のアンローダーへ搬送され、NG基板はNGストッカーに80枚 * ストックされます。静電気を除去する除電装置（イオナイザー）は標準装備です。* 基板厚1mm時

HTA3540AL

オペレーターは基板をローダーにセットするだけ。基板が一枚ずつ自動的に測定部に送られます。測定後はOK、NG基板を分けてスタックすることができます。

スペック

HTA3540AL
最大検査エリア

350 x 400 mm
最大基板サイズ

350 x 400 mm
最小基板サイズ

80 x 60 mm
最大基板厚

2 mm
クランプ方式

バキューム方式
最大ストック数

520枚（基板厚1mm時）
最大搬送基板サイズ

350 x 400 mm
最小搬送基板サイズ

80 x 60 mm
最大可搬重量

0.5 kg *1
プローブ回転角

シングルエンドプローブ：360°
ディファレンシャルプローブ：±180°
繰返し精度X–Y

±4 µm
繰返し精度 θ

1°
インピーダンス精度 *2

シングルエンド測定：50 Ω±1%
ディファレンシャル測定：100 Ω±1%
エアー仕様：圧力

0.5 MPa
エアー仕様：容量

3.5 ℓ/min.
電源
三相AC200–240 V 50/60 Hz

20 A
重量

900 kg *3
外形図（mm）

必要システム

制御用PC＆モニター *4
動作環境 21–24℃、30–70%（相対湿度）
* 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください
大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）
オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 吸着パッド（φ10）が6箇所以上吸着できる場合に限り搬送できます。*2 キャリブレーション実施後の環境温度変化±2℃において。*3 検査部の重量です。搬送部の重量は、ローダー200kg、アンローダー200kgです。*4 仕様については営業にご確認ください。

対応測定器 *5

テクトロニクス

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B
11801C
キーサイト・テクノロジー

E5063A+オプションTDR
E5071C+ENAオプションTDR
E5080B+オプションTDR
86100A
86100B
86100C
54750
N1000A
N5224B
テレダイン・レクロイ

WaveExpert100H＋ST-20
マイクロクラフト

MZ30
MZ50

*5 仕様については営業にご確認ください。計測器等は別売です。

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