TDR測定装置・TDR測定器のリーディングカンパニー「マイクロクラフト」

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独自のプローブ回転機構により、
様々な向きに配置された検査点にも自動でコンタクト。

H1*66/H2*45

H1C66/H2C45

自動片面TDR測定システム
H1C66（同軸プローブ仕様・1プローブ）
H2C45（同軸プローブ仕様・2プローブ）
シングルエンドと差動インピーダンス測定が可能。独自の回転ヘッドとイオナイザーを標準装備。
※最大検査エリア910×650mmの大型サイズも用意しています

H1P66/H2P45

自動片面TDR測定システム
H1P66（可変ピッチプローブ仕様・1プローブ）
H2P45（可変ピッチプローブ仕様・2プローブ）
シングルエンドと差動インピーダンス測定が可能。独自の回転ヘッドとイオナイザーを標準装備。可変ピッチプローブ仕様は、ピッチ調整を自動で行うことができる調整機構（オプション）を用意しています。
※最大検査エリア910×650mmの大型サイズも用意しています

プローブトップチェンジャー オプション

プローブトップチェンジャー（オプション）

従来、シングルエンドプローブ先端に装着するプローブトップは、測定するパターンピッチに応じてプローブトップを交換する必要がありました。しかし、プローブトップチェンジャーはプローブユニットが交換位置まで移動し、自動でプローブトップの脱着を行います。チェンジャーには5種類までセットが可能で、複数のパターンピッチが存在する基板の測定では交換する手間が省け、測定効率の向上が見込まれます。

H1*66/H2*45スペック

H1C66/H1P66（1プローブ） H2C45/H2P45（2プローブ）
最大検査エリア

610 x 610 mm

470 x 510 mm
最大基板サイズ

620 x 620 mm

520 x 520 mm
最小基板サイズ

40 x 40 mm

40 x 40 mm *1
最大基板厚

10 mm

10 mm
クランプ方式

手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2

手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2
プローブ回転角

シングルエンドプローブ：360°
ディファレンシャルプローブ：±180°

シングルエンドプローブ：360°
ディファレンシャルプローブ：±180°
繰返し精度X–Y

±10 µm

±10 µm
繰返し精度 θ

5°

5°
インピーダンス精度 *3

シングルエンド測定：50 Ω±1%
ディファレンシャル測定：100 Ω±1%

シングルエンド測定：50 Ω±1%
ディファレンシャル測定：100 Ω±1%
エアー仕様：圧力

0.5 MPa

0.5 MPa
エアー仕様：容量

70 ℓ/min.

70 ℓ/min.
電源
単相AC200–240 V 50/60 Hz

5 A

8 A
重量

830 kg

850 kg
外形図（mm）

必要システム 制御用PC＆モニター *4
動作環境 21–24℃、30–70%（相対湿度）
* 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください
大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）
オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 2プローブが接近できる距離には制約がありますので、1プローブで測定する場合に対応可能なサイズです。*2 別途バキュームポンプが必要となります。*3 キャリブレーション実施後の環境温度変化±2℃において。*4 仕様については営業にご確認ください。

H1*96/H2*86（大型サイズ）スペック

H1C96/H1P96（1プローブ） H2C86/H2P86（2プローブ）
最大検査エリア

910 x 650 mm

820 x 650 mm
最大基板サイズ

930 x 680 mm

840 x 680 mm
最小基板サイズ

40 x 40 mm

40 x 40 mm *1
最大基板厚

10 mm

10 mm
クランプ方式

手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2

手動クランプまたはバキュームクランプ（オプション） *2
プローブ回転角

シングルエンドプローブ：360°
ディファレンシャルプローブ：±180°

シングルエンドプローブ：360°
ディファレンシャルプローブ：±180°
繰返し精度X–Y

±10 µm

±10 µm
繰返し精度 θ

5°

5°
インピーダンス精度 *3

シングルエンド測定：50 Ω±1%
ディファレンシャル測定：100 Ω±1%

シングルエンド測定：50 Ω±1%
ディファレンシャル測定：100 Ω±1%
エアー仕様：圧力

0.5 MPa

0.5 MPa
エアー仕様：容量

50 ℓ/min.

50 ℓ/min.
電源
単相AC200–240 V 50/60 Hz

5 A

8 A
重量

1110 kg

1130 kg
外形図（mm）

必要システム 制御用PC＆モニター *4
動作環境 21–24℃、30–70%（相対湿度）
* 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください
大気圧露点：−14℃以下（0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下）
オイルミスト濃度：1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 2プローブが接近できる距離には制約がありますので、1プローブで測定する場合に対応可能なサイズです。*2 別途バキュームポンプまたはブロアポンプが必要となります。*3 キャリブレーション実施後の環境温度変化±2℃において。*4 仕様については営業にご確認ください。

対応測定器 *5

テクトロニクス

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B
11801C
キーサイト・テクノロジー

E5063A+オプションTDR
E5071C+ENAオプションTDR
E5080B+オプションTDR
N5224B+オプションTDR
86100A
86100B
86100C
54750
N1000A
ローデ・シュワルツ

ZNA26
ZNB26
ZNA43
ZNB43
テレダイン・レクロイ

WaveExpert100H＋ST-20
マイクロクラフト

MZ30
MZ50

*5 仕様については営業にご確認ください。計測器等は別売です。

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