MicroCraft

  • Sarra
  • TDR/VNA 측정 장치

대량의 기판을 24시간 무인으로 측정 가능.
인건비 절감을 실현하는 오토로더 타입.

H1C34-M

H1C34-M

오토로더 부착 TDR 측정 시스템
H1C34-M
중앙에 측정부, 좌우에 오토로더와 언로더를 접속한 오토로더 타입. 520매 * 의 기판을 세팅하여 무인 운전이 가능합니다. 우측의 로더에서 측정부로 반송된 기판은 측정 완료 후 양품 기판은 좌측의 언로더로 반송되며 불량 기판은 NG 적재함에 80장 * 이 적재됩니다. 정전기를 제거하는 제전장치(이오나이저)는 기본 사양입니다. * 기판두께1 mm일 경우

H1C34-M

오퍼레이터는 기판을 스토커에 세팅만 하면 OK. 기판이 한 장씩 자동적으로 검사부에 보내집니다. 측정 후에는 OK, NG 기판을 나누어 적재할 수 있습니다.

상세 사양

H1C34-M
최대검사에리어

350 x 400 mm
최대기판사이즈

350 x 400 mm
최소기판사이즈

80 x 60 mm
최대기판두께

2 mm
클램프 방식

Vacuum방식
최대 적재수

520매 (기판두께1 mm일 경우)
최대 반송 기판 사이즈

350 x 400 mm
최소 반송 기판 사이즈

80 x 60 mm
최대 허용 중량

0.5 kg *1
프로브회전각

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±180°
반복정밀도 X–Y

±4 µm
반복정밀도 θ

1°
임피던스 정밀도 *2

싱글엔드 측정: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 측정: 100 Ω±1%
에어사양 (압력)

0.5 MPa
에어사양 (용량)

3.5 ℓ/min.
전원
3상AC200–240 V 50/60 Hz

20 A
중량

900 kg *3
외부사이즈 (mm)

필요시스템

제어용PC & 모니터 *4
동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 흡착 패드(φ10)가 6개 이상 기판에 닿아 있는 경우에만 이송이 가능합니다. *2 Calibration 실시 후 환경 온도변화±2℃인 경우 *3 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 200 kg, 언로더 200 kg입니다. *4 상세 사양에 대해서는 영업과로 확인하여 주십시오.

대응 측정기 *5

Tektronix

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B
11801C
Keysight Technologies

E5063A+옵션TDR
E5071C+ENA옵션TDR
E5080B+옵션TDR
N5224B+옵션TDR
86100A
86100B
86100C
54750
N1000A
Rohde & Schwarz

ZNA26
ZNB26
ZNA43
ZNB43
Teledyne LeCroy

WaveExpert100H＋ST-20
MicroCraft

MZ30
MZ50

*5 각 기기의 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. 계측기등은 별도 구매입니다.

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