MicroCraft

  • Sarra
  • TDR/VNA 측정 장치

대량의 기판을 24시간 무인으로 측정 가능.
인건비 절감을 실현하는 오토로더 타입.

HTA3540AL

HTA3540AL

오토로더 부착 TDR 측정 시스템
HTA3540AL
중앙에 측정부, 좌우에 오토로더와 언로더를 접속한 오토로더 타입. 520매 * 의 기판을 세팅하여 무인 운전이 가능합니다. 우측의 로더에서 측정부로 반송된 기판은 측정 완료 후 양품 기판은 좌측의 언로더로 반송되며 불량 기판은 NG 적재함에 80장 * 이 적재됩니다. 정전기를 제거하는 제전장치(이오나이저)는 기본 사양입니다. * 기판두께1 mm일 경우

HTA3540AL

오퍼레이터는 기판을 스토커에 세팅만 하면 OK. 기판이 한 장씩 자동적으로 검사부에 보내집니다. 측정 후에는 OK, NG 기판을 나누어 적재할 수 있습니다.

상세 사양

HTA3540AL
최대검사에리어

350 x 400 mm
최대기판사이즈

350 x 400 mm
최소기판사이즈

80 x 60 mm
최대기판두께

2 mm
클램프 방식

Vacuum방식
최대 적재수

520매 (기판두께1 mm일 경우)
최대 반송 기판 사이즈

350 x 400 mm
최소 반송 기판 사이즈

80 x 60 mm
최대 허용 중량

0.5 kg *1
프로브회전각

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±180°
반복정밀도 X–Y

±4 µm
반복정밀도 θ

1°
임피던스 정밀도 *2

싱글엔드 측정: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 측정: 100 Ω±1%
에어사양 (압력)

0.5 MPa
에어사양 (용량)

3.5 ℓ/min.
전원
3상AC200–240 V 50/60 Hz

20 A
중량

900 kg *3
외부사이즈 (mm)

필요시스템

제어용PC & 모니터 *4
동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 흡착 패드(φ10)가 6개 이상 기판에 닿아 있는 경우에만 이송이 가능합니다. *2 Calibration 실시 후 환경 온도변화±2℃인 경우 *3 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 200 kg, 언로더 200 kg입니다. *4 상세 사양에 대해서는 영업과로 확인하여 주십시오.

대응 측정기 *5

Tektronix

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B
11801C
Keysight Technologies

E5063A option TDR
E5071C+ENA option TDR
E5080B+option TDR
86100A
86100B
86100C
54750
N1000A
N5224B
Teledyne Lecroy

WaveExpert100H＋ST-20
MicroCraft

MZ30
MZ50

*5 각 기기의 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. 계측기등은 별도 구매입니다.

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