MicroCraft

  • Sarra
  • TDR/VNA 측정 장치

독자적인 프로브 회전 기구에 의해
다양한 방향으로 배치된 검사점에도 자동으로 접촉.

F1T6060 / F2T6060

F1T/F2T6060

자동 단면 TDR 측정 시스템
F1T6060 (1 프로브)
F2T6060 (2 프로브)
싱글엔드와 디퍼렌셜 측정 가능. 독자적인 회전 헤드와 이오나이저는 표준 입니다.

프로브 캡 체인저 옵션

프로브 캡 체인저 (옵션)

기존에는 싱글엔드 프로브 선단에 장착된 프로브 캡을 작업자가 측정하는 패턴 피치에 따라 교체해야 했습니다. 그러나 프로브 캡 체인저를 사용하면 프로브 유닛이 교체 위치로 이동하여 자동으로 프로브 캡의 탈/부착을 합니다. 최대 5가지 유형의 프로브 캡 셋팅이 가능하고 복수의 패턴 피치가 있는 기판을 측정할 때 교체하는 번거로움을 줄일 수 있어 측정 효율성이 향상 됩니다.

상세 사양

F1T6060 (1 프로브) F2T6060 (2 프로브)
최대검사에리어

610 x 610 mm

470 x 510 mm
최대기판사이즈

620 x 620 mm

520 x 520 mm
최소기판사이즈

40 x 40 mm

40 x 40 mm *1
최대기판두께

10 mm

10 mm
클램프 방식

수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2

수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2
프로브회전각

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±90°

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±90°
반복정밀도 X–Y

±10 µm

±10 µm
반복정밀도 θ

5°

5°
임피던스 정밀도 *3

싱글엔드 측정: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 측정: 100 Ω±1%

싱글엔드 측정: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 측정: 100 Ω±1%
에어사양 (압력)

0.5 MPa

0.5 MPa
에어사양 (용량)

50 ℓ/min.

50 ℓ/min.
전원
단상AC200–240 V 50/60 Hz

5 A

8 A
중량

830 kg

850 kg
외부사이즈 (mm)

필요시스템

제어용PC & 모니터 *4
동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 2개의 프로브가 접근할 수 있는 거리에는 제약이 있기 때문에 1개의 프로브로 측정할 경우에 대응 가능한 사이즈입니다. *2 별도 버큠 펌프가 필요합니다. *3 Calibration 실시 후 환경 온도변화±2℃인 경우 *4 상세 사양에 대해서는 영업과로 문의하여 주십시오.

대응 측정기 *5

Tektronix

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B
11801C
Keysight Technologies

E5063A option TDR
E5071C+ENA option TDR
E5080B+option TDR
86100A
86100B
86100C
54750
N1000A
N5224B
Teledyne Lecroy

WaveExpert100H＋ST-20
MicroCraft

MZ30
MZ50

*5 각 기기의 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. 계측기등은 별도 구매입니다.

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