EMMAは、プローブの正確な位置決めをするために、高感度アライメントカメラを装備しています。個々のプローブに備えられたアライメントカメラが、プローブとともに動いて、基板の位置決めを高速・高精度に行います。フィディシャルマークを高度な画像処理で認識することにより、パッド位置を正確にとらえ、基板の傾きやズレを自動的に補正します。また、基板の表面と裏面の合わせ間違いやズレも補正計算するので、プローブは正確にパッドにコンタクトできます。EMMAのアライメントカメラは2つのタイプがあり、基板の種類や検査に応じて最適なカメラを搭載します。

オプションとして電動フォーカス機能を用意しています。この機能は、カメラの前後方向の移動を電動化することでピント調整にかかる時間と手間を削減できる便利な機能です。工具は必要なく、検査をする基板の厚みを入力するだけでピントが合う位置にカメラが移動します。一度入力した板厚は品種ごとに検査設定に保存されるため、品種切り替え時には保存された位置に自動で復帰します。EMMAのタッチパネルからマニュアル操作ができるので、微妙なピント調整も簡単に行えます。