MicroCraft

  • 프린트 기판 검사 장치

오토 로더를 장착하여
24시간 무인 운전이 가능한 “AL 시리즈”

AL시리즈

기판 반송 방식: 컨베이어 방식

수직 타입의 오토 로더 장착 EMMA 입니다. 검사부의 좌우에 신개발의 오토 로더/언로더를 연결하여 기판 검사를 24시간 무인 운전할 수 있습니다. 오토 로더부에 기판을 세팅하면 흡착 패드가 자동으로 기판을 흡착하여 컨베이어 레일까지 운반합니다. 컨베이어 레일에 오른 기판은 중앙 검사부에 반송되고 검사가 시작됩니다. 검사 종료 후, 기판은 신속하게 언로더에 반송되어 양품 기판과 불량 기판은 각각의 스토커에 배분되기 때문에 혼입 우려가 없습니다. ※기존의 E4M / E4H / E4S / E8M는 오토 로더와 접속할 수 없습니다

• 최대 스톡수 (다른 크기의 기판도 동시에 세팅이 가능합니다)
§ 오토 로더부: 200매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
§ 언로더부: OK 기판 200매·NG 기판 60매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
• OK / NG 스탬프 기구부 옵션
• 멀티 이미지 기판에 대응

E4M6151AL

표준타입 (4프로브)
E4M6151AL
최소 패드 사이즈30 μm, 최소 패드 피치100 μm 표준 타입

E4H6151AL

고정밀도 타입 (4프로브)
E4H6151AL
최소 패드 사이즈20 μm, 최소 패드 피치50 μm 고정밀도 타입

E4S6151AL

초고정밀도 타입 (4프로브)
E4S6151AL
최소 패드 사이즈15 μm, 최소 패드 피치50 μm 초고정밀도 타입

E8M6151AL

표준 타입 (8프로브)
E8M6151AL
E8M6151AL2 NEW
8개의 프로브로 초고속 검사를 실시합니다. 신모델인 AL은 250 x 250 mm 이하의 기판이라면 2장 동시에 반송할 수 있어 작은 사이즈 기판의 검사 처리량이 크게 향상되었습니다.

E8M8161AL

대형 타입 (8프로브)
E8M8161AL
E8M8161AL2 NEW
8개의 프로브로 초고속 검사를 실시합니다. 최대 검사 에리어는 810 x 610 mm를 대응한 대형 타입니다. 신모델 AL2는250 x 250 mm 이하의 기판이라면 2장 동시에 반송할 수 있어 작은 사이즈 기판의 검사 처리량이 크게 향상되었습니다.

AL시리즈 독자적인 기능

자동 품종 전환 기능
AL시리즈는 바코드로「자동 품종 전환 기능」장착이 가능합니다. 다품종 기판 검사의 번거로움과 트러블 발생률을 보다 줄이는 편리한 기능입니다. 바코드 장착 플레이트를 기판 A군과 기판B군 사이에 넣고 로더에 셋팅합니다. 기판 매수를 소프트웨어에 입력할 필요는 없습니다. 로더에는 바코더 리더가 장착되어 있어 바코드 장착 플레이트가 맨 앞으로 오면 바코드를 읽고(아래 그림)검사기는 다음부터 기판B가 반송되는 것으로 인식합니다. 기판B가 반송되면 기판B에 맞는 검사가 이루어집니다. 입력에러의 리스트를 줄여 확실하게 전수 검사를 수행할 수 있습니다. 옵션으로 바코드에 링크된 데이터를 자동 읽기로도 가능합니다.
※바코드 장착 플레이트는 검사하지 않고 언로더의 NG기판으로 배분됩니다.

로트단위로의 재검사 기능
동일 로트에서 발생한 각 불량을 집계하여 재검사할 때는 동일 로트에서 발생한 불량 부분의 모든 검사를 합니다. 이에 따라 각각의 기판과 조건이 연결된 검사결과를 읽지 않고 원할하게 재검사를 할 수 있습니다.

AL시리즈 사양 (E4)

E4M6151AL E4H6151AL E4S6151AL
최대검사에리어

610 x 510 mm

610 x 510 mm

610 x 510 mm

최대 반송 기판 사이즈

620 x 520 mm

620 x 520 mm

620 x 520 mm

검사
프로브수

전면2개, 후면2개

전면2개, 후면2개

전면2개, 후면2개

최소기판사이즈

60 x 100 mm *1

60 x 100 mm *1

60 x 100 mm *1

최소 반송 기판 사이즈

100 x 100 mm

100 x 100 mm

100 x 100 mm

최대기판두께

0.5–5.0 mm *2

0.5–5.0 mm *2

0.5–5.0 mm *2

최대 허용 중량

3 kg *3

3 kg *3

3 kg *3

클램프 영역

3.0–10 mm

3.0–10 mm

3.0–10 mm

검사 불가 영역

클램프 영역 끝에서 1 mm *4

클램프 영역 끝에서 1 mm *4

클램프 영역 끝에서 1 mm *4

반복정밀도 *5

±4 µm

±4 µm

±2 µm

위치결정분해능

2 µm

2 µm

1 µm

최소 패드
피치

100 µm *6

50 µm *6

50 µm *7

최소 패드
사이즈

30 µm *8

20 µm *8

15 µm *9

검사전압

통전검사시: 0–10 V
절연검사시: 250 V *10

통전검사시: 0–10 V
절연검사시: 250 V *10

통전검사시: 0–10 V
절연검사시: 250 V *10

검사전류

통전검사시: 2.5 µA–150 mA

통전검사시: 2.5 µA–150 mA

통전검사시: 2.5 µA–150 mA

클램프 방식

자동클램프

자동클램프

자동클램프

CCD카메라

전면2개, 후면2개

전면2개, 후면2개

전면2개, 후면2개

프린터

외장형

외장형

외장형

에어사양: 압력

0.5 MPa

0.5 MPa

0.5 MPa

에어사양: 용량

150 ℓ/min

150 ℓ/min

150 ℓ/min

전원 *11
단상AC200–240 V 50/60 Hz

15 A

15 A

15 A

중량

1100 kg *12

1150 kg *12

1150 kg *12

외부사이즈 (mm)

필요 시스템 1)제어용 컴퓨터 & 모니터
2)검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터
* 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10)
프로브 타입 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당)이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 로더를 통하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다. *2 기판 휨 상태는 기판 두께를 포함하여 5 mm이내. 최소 기판 두께는 수직으로 유지하여 휨이나 굴곡 없이 자립하는 경우에 한정합니다. *3 로더 픽업부에 흡착 패드가 10개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다. *4 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. *5 레이저 측정에 따른 것입니다. *6 로브 (T96MC-PB-0R40) 사용시 *7 로브 (T98MC-PB-0R80) 사용시 *8 로브 (T96MC-PB-0B00) 사용시 *9 로브 (T98MC-PB-0B00) 사용시 *10 500 V, 1000 V는 옵션. *11 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. *12 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 580 kg, 언로더 580 kg입니다.

AL시리즈 사양 (E8)

E8M6151AL / AL2 E8M8161AL / AL2
최대검사에리어

610 x 510 mm

810 x 610 mm

최대 반송 기판 사이즈

AL: 620 x 520 mm
AL2: 610 x 510 mm *1

AL: 620 x 520 mm
AL2: 610 x 510 mm *1

검사프로브수

전면4개, 후면4개

전면4개, 후면4개

최소기판사이즈

100 x 100 mm *2

100 x 100 mm *2

최소 반송 기판 사이즈

100 x 100 mm

100 x 100 mm

최대기판두께

0.5–5.0 mm *3

0.5–5.0 mm *3

최대 허용 중량

3 kg *4

3 kg *4

클램프 영역

3.0–10 mm

3.0–10 mm

검사 불가 영역

클램프 영역 끝에서 3 mm *5

클램프 영역 끝에서 3 mm *5

반복정밀도 *6

±4 µm

±4 µm

위치결정분해능

2 µm

2 µm

최소패드피치

100 µm *7

120 µm *7

최소패드사이즈

50 µm *8

50 µm *8

검사전압

통전검사시: 0–10 V
절연검사시: 250 V *9

통전검사시: 0–10 V
절연검사시: 250 V *9

검사전류

통전검사시: 2.5 µA–150 mA

통전검사시: 2.5 µA–150 mA

클램프 방식

자동클램프

자동클램프

CCD카메라

전면4개, 후면4개

전면4개, 후면4개

프린터

외장형

외장형

에어사양: 압력

0.5 MPa

0.5 MPa

에어사양: 용량

150 ℓ/min.

150 ℓ/min.

전원 *10
단상AC200–240 V 50/60 Hz

20 A

20 A

중량

2100 kg *11

2200 kg *11

외부사이즈 (mm)

필요 시스템 1)제어용 컴퓨터 & 모니터
2)검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터
* 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10)
프로브 타입 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당)이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 1장 반송시의 사이즈입니다. 2장 반송시는 250 x 250 mm입니다. *2 로더를 통하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다.*3 기판 휨 상태는 기판 두께를 포함하여 5 mm이내. 최소 기판 두께는 수직으로 유지하여 휨이나 굴곡 없이 자립하는 경우에 한정합니다. *4 로더 픽업부에 흡착 패드가 10개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다. *5 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. *6 레이저 측정에 따른 것입니다. *7 프로브 (TIPRB-PB-N110, TIPRB-PB-N111) 사용시 *8 프로브 (TIPRB-PB-B210, TIPRB-PB-B211) 사용시 *9 500 V, 1000 V는 옵션. *10 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. *11 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 580 kg, 언로더 580 kg입니다.

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