AL시리즈 / EMMA

오토로더를 장착하여 24시간 무인 운전이 가능한 AL 시리즈.

AL시리즈 (수직형 4 프로브 시스템)

표준 타입 / 고정밀 타입 / 초고정밀 타입
E4M / E4H / E4S6151G-AL NEW
오토로더가 장착된 수직 타입의 EMMA. 오토로더에 기판을 세팅하면 흡착 패드가 자동으로 기판을 흡착하여 컨베이어 레일까지 운반합니다. 컨베이어 레일 위의 기판은 중앙 검사부로 이송되어 검사가 시작됩니다. 검사 완료된 기판은 신속하게 언로더로 이송되며 양품과 불량 기판은 각각의 스태커로 분류되기 때문에 혼입의 위험이 없습니다.
※기존의 E4M / E4H / E4S 는 오토 로더와 접속할 수 없습니다

기판 반송 방식: 컨베이어 방식

• 최대 스톡수 (다른 크기의 기판도 동시에 세팅이 가능합니다)
§ 오토 로더부: 200매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
§ 언로더부: OK 기판 200매·NG 기판 60매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
• OK / NG 스탬프 기구부 옵션
• 멀티 이미지 기판에 대응

상세 사양

	E4M6151G-AL	E4H6151G-AL	E4S6151G-AL
최대검사에리어	610 x 510 mm	610 x 510 mm	610 x 510 mm
최대 반송 기판 사이즈	620 x 520 mm	620 x 520 mm	620 x 520 mm
검사 프로브수	전면2개, 후면2개	전면2개, 후면2개	전면2개, 후면2개
최소기판사이즈	60 x 100 mm *1	60 x 100 mm *1	60 x 100 mm *1
최소 반송 기판 사이즈	100 x 100 mm	100 x 100 mm	100 x 100 mm
최대기판두께	0.5–5.0 mm *2	0.5–5.0 mm *2	0.5–5.0 mm *2
최대 허용 중량	3 kg *3	3 kg *3	3 kg *3
클램프 영역	3.0–10 mm	3.0–10 mm	3.0–10 mm
검사 불가 영역	클램프 영역 끝에서 1 mm *4	클램프 영역 끝에서 1 mm *4	클램프 영역 끝에서 1 mm *4
반복정밀도 *5	±4 µm	±4 µm	±2 µm
위치결정분해능	2 µm	2 µm	1 µm
최소 패드 피치	100 µm *6	50 µm *6	50 µm *7
최소 패드 사이즈	30 µm *8	20 µm *8	15 µm *9
검사전압	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *10	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *10	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *10
검사전류	통전검사시: 2.5 µA–150 mA	통전검사시: 2.5 µA–150 mA	통전검사시: 2.5 µA–150 mA
클램프 방식	자동클램프	자동클램프	자동클램프
얼라인먼트 카메라	전면2개, 후면2개	전면2개, 후면2개	전면2개, 후면2개
프린터	외장형	외장형	외장형
에어사양: 압력	0.5 MPa	0.5 MPa	0.5 MPa
에어사양: 용량	150 ℓ/min	150 ℓ/min	150 ℓ/min
전원 *11 단상AC200–240 V 50/60 Hz	15 A	15 A	15 A
중량	1100 kg *12	1150 kg *12	1150 kg *12
외부사이즈 (mm)
필요 시스템	1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어	조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11)
프로브 타입	프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경	21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 오토로더를 사용하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다. *2 기판 휨 상태는 기판 두께를 포함하여 5 mm이내. 최소 기판 두께는 휨이나 굴곡 없이 클램프에 수직으로 유지되는 경우에 적용 됩니다. *3 로더 픽업부에 흡착 패드가 10개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다. *4 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. *5 레이저 측정에 따른 것입니다. *6 프로브 (T96MC-PB-0R40) 사용시 *7 프로브 (T98MC-PB-0R80) 사용시 *8 프로브 (T96MC-PB-0B00) 사용시 *9 프로브 (T98MC-PB-0B00) 사용시 *10 500 V, 1000 V는 옵션. *11 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. *12 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 580 kg, 언로더 580 kg입니다.

AL시리즈 (수평형 4 프로브 시스템)

고정밀 타입
F4H4033G-AL NEW
오토로더가 장착된 수평 타입의 EMMA. 컨베이어 레일을 이용한 인라인 방식 이송으로 다양한 이송 라인과 연결이 가능 합니다.

기판 반송 방식: 컨베이어 방식

• 최대 스톡수 (다른 크기의 기판도 동시에 세팅이 가능합니다)
§ 오토 로더부: 400매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
§ 언로더부: OK 기판 400매·NG 기판 400매 (기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
• OK / NG 스탬프 기구부 옵션
• 멀티 이미지 기판에 대응

상세 사양

	F4H4033G-AL
최대검사에리어	400 x 330 mm
최대 반송 기판 사이즈	420 x 340 mm
검사프로브수	상면2개, 하면2개
최소기판사이즈	50 x 50 mm *1
최소 반송 기판 사이즈	100 x 90 mm
최대기판두께	1.0–3.0 mm *2
최대 허용 중량	1 kg *3
클램프 영역	2 mm
검사 불가 영역	클램프 영역 끝에서 2 mm *4
반복정밀도 *5	±3 µm
위치결정분해능	2 µm
최소패드피치	60 µm *6
최소패드사이즈	30 µm *7
검사전압	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *8
검사전류	통전검사시: 2.5 µA–150 mA
클램프 방식	자동클램프
얼라인먼트 카메라	상면2개, 하면2개
프린터	내장형
에어사양: 압력	0.5 MPa
에어사양: 용량	300 ℓ/min.
전원 *9 단상AC200–240 V 50/60 Hz	15 A
중량	1200 kg *10
외부사이즈 (mm)
필요 시스템	1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어	조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11)
프로브 타입	프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경	21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 오토로더를 사용하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다. *2 기판 휨은 수평으로 기판 끝을 잡은 상태에서 100mm에 대해서 0.4mm이하. *3 로더 픽업부에 흡착 패드가 12개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다. *4 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. *5 레이저 측정에 따른 것입니다. *6 프로브 (T96MC-PB-0R40) 사용시 *7 프로브 (T96MC-PB-0B00) 사용시 *8 500 V, 1000 V는 옵션. *9 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. *10 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 450 kg, 언로더 900 kg입니다.

AL시리즈 (수직형 8 프로브 시스템)

표준 타입
E8M6151G-AL / E8M6151G-AL2 NEW
오토로더가 장착된 수직 타입의 EMMA AL2는 250×250mm 이하의 기판 2장을 동시에 운반할 수 있기 때문에, 작은 사이즈 기판의 검사 처리량이 크게 향상되어 있습니다.
※기존의 E8M6151는 오토 로더와 접속할 수 없습니다

대형 타입
E8M8161G-AL / E8M8161G-AL2 NEW
8개의 프로브로 초고속 검사를 실시 합니다. 최대 검사 에리어는 810 x 610 mm를 대응한 대형타입 입니다. 오토로더가 장착된 수직 타입의 EMMA AL2는 250×250mm 이하의 기판 2장을 동시에 운반할 수 있기 때문에, 작은 사이즈 기판의 검사 처리량이 크게 향상되어 있습니다.
※기존의 E8M8161는 오토 로더와 접속할 수 없습니다

기판 반송 방식: 컨베이어 방식

상세 사양

	E8M6151G-AL / AL2	E8M8161G-AL / AL2
최대검사에리어	610 x 510 mm	810 x 610 mm
최대 반송 기판 사이즈	AL: 620 x 520 mm AL2: 610 x 510 mm *1	AL: 620 x 520 mm AL2: 610 x 510 mm *1
검사프로브수	전면4개, 후면4개	전면4개, 후면4개
최소기판사이즈	100 x 100 mm *2	100 x 100 mm *2
최소 반송 기판 사이즈	100 x 100 mm	100 x 100 mm
최대기판두께	0.5–5.0 mm *3	0.5–5.0 mm *3
최대 허용 중량	3 kg *4	3 kg *4
클램프 영역	3.0–10 mm	3.0–10 mm
검사 불가 영역	클램프 영역 끝에서 3 mm *5	클램프 영역 끝에서 3 mm *5
반복정밀도 *6	±4 µm	±4 µm
위치결정분해능	2 µm	2 µm
최소패드피치	100 µm *7	120 µm *7
최소패드사이즈	50 µm *8	50 µm *8
검사전압	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *9	통전검사시: 0–10 V 절연검사시: 250 V *9
검사전류	통전검사시: 2.5 µA–150 mA	통전검사시: 2.5 µA–150 mA
클램프 방식	자동클램프	자동클램프
얼라인먼트 카메라	전면4개, 후면4개	전면4개, 후면4개
프린터	외장형	외장형
에어사양: 압력	0.5 MPa	0.5 MPa
에어사양: 용량	150 ℓ/min.	150 ℓ/min.
전원 *10 단상AC200–240 V 50/60 Hz	20 A	20 A
중량	2100 kg *11	2200 kg *11
외부사이즈 (mm)
필요 시스템	1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어	조작용 EMMA2020은 표준, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 10 / Windows 11)
프로브 타입	프로브는 다양한 라인업으로 준비되어 있습니다. 모델 및 용도에 따라 사용하는 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경	21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 1장 반송시의 사이즈 입니다. 2장 반송시는 250 x 250 mm 입니다. *2 오토로더를 사용하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다. *3 기판 휨 상태는 기판 두께를 포함하여 5 mm이내. 최소 기판 두께는 휨이나 굴곡 없이 클램프에 수직으로 유지되는 경우에 적용 됩니다. *4 로더 픽업부에 흡착 패드가 10개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다. *5 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. *6 레이저 측정에 따른 것입니다. *7 프로브 (TIPRB-PB-N110, TIPRB-PB-N111) 사용시 *8 프로브 (TIPRB-PB-B210, TIPRB-PB-B211) 사용시 *9 500 V, 1000 V는 옵션. *10 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. *11 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 580 kg, 언로더 580 kg입니다.

AL시리즈 독자적인 기능

자동 데이터 전환 기능
다품종 기판 검사의 시간과 트러블 발생률을 줄여주는 편리한 기능입니다. 바코드 플레이트는 기판 A그룹과 B그룹 사이에 넣어 로더에 세팅합니다. 소프트웨어에 기판 수량을 입력할 필요는 없습니다. 로더에는 바코드 리더가 탑재되어 있어 바코드 플레이트가 앞으로 나오면 바코드를 판독(왼쪽 그림)하고, 검사기는 다음에 이송할 기판 B를 인식합니다. 기판 B가 이송되면 기판 B에 따른 검사가 이루어집니다. 이를통해 입력 오류의 위험을 제거하고 모든 검사를 할 수 있습니다. 옵션을 통해 바코드에 링크된 데이터를 자동으로 읽을 수 있습니다.
※바코드가 부착된 플레이트는 검사하지 않고 언로더 NG 기판으로 이송 됩니다.

로트 단위에서의 재검사 기능
동일 로트에서 발생한 각 불량을 집계하여 재검사 시 동일 로트에서 발생한 불량 부분을 모두 검사 합니다. 이를 통해 각각의 기판과 연결된 검사 결과를 읽지 않고도 원활한 재검사가 가능 합니다.

사양이나 견적 및 자료 요청 등에 대한 문의는 전화 또는 사이트에서 문의 해주세요. 또한, 모든 라인업은 고객 요구에 맞추어 커스터마이징이 가능하오니 언제든지 문의 부탁 드립니다.
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  +82-31-452-6546
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