MicroCraft

  • TDR측정장치

휴대 정보 단말 등의 기판 테스트 쿠폰을 빠른 속도로 계측

HTA3540AL

HTA3540AL

오토 로더 장착 TDR 측정 시스템
HTA3540AL NEW
중앙에 측정부, 좌우에 오토로더와 언로더를 접속한 오토로더 타입. 520매 * 의 기판을 세팅하여 무인운전이 가능합니다. 우측의 로더에서 측정부로 반송된 기판은 측정 완료 후, 양품기판은 좌측의 언로더로 반송되며, 불량 기판은 NG적재함에 80장 * 이 적재됩니다. 정전기를 제거하는 제전장치(이오나이저)는 기본 사양입니다. * 기판두께1 mm일 경우

HTA3540AL

오퍼레이터는 기판을 스토커에 세팅만 하면 OK. 기판이 한 장씩 자동적으로 검사부에 보내집니다. 측정 후에는 OK, NG 기판을 나누어 쌓아 둘 수 있습니다.

HTA3540AL의 주요사양

HTA3540AL
최대검사에리어

350 x 400 mm

최대기판사이즈

350 x 400 mm

최소기판사이즈

60 x 80 mm

최대기판두께

2 mm

클램프 방식

Vacuum방식

최대스톡수

520매 (기판두께1 mm일 경우)

최대 반송 기판 사이즈

350 x 400 mm

최소 반송 기판 사이즈

60 x 80 mm

최대 허용 중량

0.5 kg

회전각

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±180°

반복정밀도 X–Y

±4 µm

반복정밀도 θ

인피던스 정밀도 *1

싱글 엔드 프로브: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 프로브: 100 Ω±1%

에어사양 (압력)

0.5 MPa

에어사양 (용량)

3.5 ℓ/min.

전원
3상AC200–240 V 50/60 Hz

20 A

중량

900 kg *2

외부사이즈 (mm)

필요시스템

제어용PC & 모니터 *3

동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 Calibration 실시 후의 환경온도변화가±2℃인 경우 *2 검사부의 중량입니다. 반송부의 중량은 로더 200 kg, 언로더 200 kg입니다. *3 상세 사양내용에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시오.

계측기 *4

Tektronix

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B/C

Keysight Technologies

E5063A+옵션TDR
E5071C+ENA옵션TDR
86100A/B/C
54750
N5224B

Teledyne Lecroy

WaveExpert100H+ST-20

MicroCraft

MZ30
MZ50

*4 각 기기의 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. 계측기 등은 별매입니다.

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