MicroCraft

  • TDR측정장치

획기적인 단면TDR측정 시스템

F1T6060 / F2T6060

F1T/F2T6060

자동 단면 TDR 측정 시스템
F1T6060 (1축사양) NEW
F2T6060 (2축사양) NEW
싱글 엔드와 차동 임피던스 측정이 가능. 독자적인 회전 헤드와 정전기 제거 장치를 갖춘 표준 장비. 옵션으로 오토 로더 / 언로더도 설치가 가능합니다.

HT6060

디퍼렌셜 프로브 장착으로 차동 임피던스를 측정할 수 있습니다.

프로브 톱 체인져 옵션

프로브 톱 체인져 (옵션)

기존의 싱글엔드 프로브 선단에 장착하는 프로브 톱은 측정하는 패턴 피치에 따라 프로브 톱을 교환해야 했습니다. 그러나 프로브 톱 체인져는 프로브 유닛이 교환 위치까지 이동하고 자동으로 프로브 톱의 탈장착을 합니다. 체인져는 5종류까지 셋팅이 가능하고 복수의 패턴 피치가 있는 기판을 측정할 때는에는 교환하는 번거로움을 줄일 수 있어 측정 효율의 향상을 꾀할 수 있습니다.

F1T/F2T6060의 주요사양

F1T6060 (1축사양) F2T6060 (2축사양)
최대검사에리어

610 x 610 mm

470 x 510 mm

최대기판사이즈

620 x 620 mm

520 x 520 mm

최소기판사이즈

40 x 40 mm

40 x 40 mm *1

최대기판두께

10 mm

10 mm

클램프 방식

수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2

수동클램프 또는 Vacuum방식 (옵션) *2

회전각

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±90°

싱글 엔드 프로브: 360°
디퍼렌셜 프로브: ±90°

반복정밀도 X–Y

±10 µm

±10 µm

반복정밀도 θ

인피던스 정밀도 *3

싱글 엔드 프로브: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 프로브: 100 Ω±1%

싱글 엔드 프로브: 50 Ω±1%
디퍼렌셜 프로브: 100 Ω±1%

에어사양 (압력)

0.5 MPa

0.5 MPa

에어사양 (용량)

50 ℓ/min.

50 ℓ/min.

전원
단상AC200–240 V 50/60 Hz

5 A

8 A

중량

830 kg

850 kg

외부사이즈 (mm)

필요시스템

제어용PC & 모니터 *4

동작환경 21–24℃、30–70% (상대습도)
* 결로, 티끌, 먼지, 진동, 부식성 가스가 없을 것.
대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하)
오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하

*1 2개의 프로브가 접근할 수 있는 거리에는 제약이 있기 때문에 1개의 프로브로 측정할 경우에 대응 가능한 사이즈입니다. *2 별도 버큠펌프는 필요합니다. *3 Calibration 실시 후의 환경온도변화가±2℃인 경우 *4 상세 사양내용에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시오.

계측기 *5

Tektronix

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B/C

Keysight Technologies

E5063A+옵션TDR
E5071C+ENA옵션TDR
86100A/B/C
54750
N5224B

Teledyne Lecroy

WaveExpert100H+ST-20

MicroCraft

MZ30
MZ50

*5 각 기기의 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. 계측기 등은 별매입니다.

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