- 프린트 기판 검사 장치
필름 형상의 기판, 플렉시블 기판,
터치 패널 등에 대응하는 F2 시리즈.
상면에 2개의 프로브를 갖추고 위상차 비교 검사
방식에 의해 넷 리스트가 없는 기판도 양품
기판과 비교함으로써 정확한 검사가 가능.
F2시리즈
고정밀 타입
F2H6151
F2H6151은 표준적인 크기의 기판에 대응하고 있고 최소패드사이즈20 μm, 최소패드피치50 μm입니다.
고정밀 타입
F2H3325
F2H3325는 일반적인 모듈기판이나 마더보드등의 고밀도 기판을 대상으로 하고 있고 최소패드사이즈15 μm, 최소패드피치45 μm입니다.
초고정밀 타입
F2S6151
Type9 프로브를 장착하여 초고정밀도 검사가 가능해졌습니다. F2S6151은 표준 크기의 고정밀도 기판에 대응하며 최소 패드 사이즈 15 μm, 최소 패드 피치 45 μm 입니다.
초고정밀 타입
F2S3325
Type9 프로브를 장착하여 초고정밀도 검사가 가능해졌습니다. F2S3325는 일반적인 CSP나 플립 칩등의 패키지 기판을 대응하며 최소 패드 사이즈 10 μm, 최소 패드피치 40 μm 입니다.
셔틀테이블 타입
F2M9172SH
대형타입에 셔틀테이블을 접속하여 검사처리량이 크게 향상된 셔틀 테이블 타입. F2M9172SH는 싱글셔틀 사양 (셔틀 x 1) 입니다.
셔틀테이블 타입
F2M9172SH2
듀얼 셔틀 사양 (셔틀 x 2 ) 입니다.
셔틀 테이블
한 쪽 셔틀이 검사 중 다른 쪽 셔틀에 기판을 세팅.
검사가 완료된 셔틀은 원래 위치로 돌아가고 다른 셔틀이 이동하여 검사가 시작 됩니다. 그 사이에 대기중인 셔틀에서 기판을 교체 합니다.
F2H 사양
F2H6151 | F2H3325 | |
---|---|---|
최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
검사프로브수 | 상면2개 |
상면2개 |
최소기판사이즈 | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
최대기판두께 | 10 mm |
10 mm |
검사 불가 영역 | — |
— |
반복정밀도 *1 | ±4 µm |
±2 µm |
위치결정분해능 | 2 µm |
1 µm |
최소패드피치 | 50 µm *2 |
45 µm *2 |
최소패드사이즈 | 20 µm *3 |
15 µm *3 |
검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
클램프 방식 | Vacuum방식 |
Vacuum방식 |
CCD카메라 | 상면2개 |
상면2개 |
프린터 | 외장형 |
외장형 |
에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
불필요 |
에어사양: 용량 | 0.6 ℓ/min |
불필요 |
전원 *5 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
8 A |
8 A |
중량 | 720 kg |
700 kg |
외부사이즈 (mm) | ||
필요 시스템 | 1)제어용 컴퓨터 & 모니터 2)검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
소프트웨어 | 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10) | |
프로브 타입 | 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당)이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
F2S 사양
F2S6151 | F2S3325 | |
---|---|---|
최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
330 x 250 mm |
검사프로브수 | 상면2개 |
상면2개 |
최소기판사이즈 | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
최대기판두께 | 4 mm |
4 mm |
검사 불가 영역 | — |
— |
반복정밀도 *1 | ±2 µm |
±1 µm |
위치결정분해능 | 1 µm |
1 µm |
최소패드피치 | 45 µm *2 |
40 µm *2 |
최소패드사이즈 | 15 µm *3 |
10 µm *3 |
검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
클램프 방식 | Vacuum방식 |
Vacuum방식 |
CCD카메라 | 상면2개 |
상면2개 |
프린터 | 외장형 |
외장형 |
에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
불필요 |
에어사양: 용량 | 0.6 ℓ/min |
불필요 |
전원 *5 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
8 A |
8 A |
중량 | 720 kg |
700 kg |
외부사이즈 (mm) | ||
필요 시스템 | 1)제어용 컴퓨터 & 모니터 2)검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
소프트웨어 | 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10) | |
프로브 타입 | 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당)이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
셔틀테이블 타입 사양
F2M9172SH | F2M9172SH2 | |
---|---|---|
최대검사에리어 | 910 x 720 mm |
910 x 720 mm |
검사프로브수 | 상면2개 |
상면2개 |
최소기판사이즈 | 50 x 50 mm |
50 x 50 mm |
최대기판두께 | 10 mm |
10 mm |
검사 불가 영역 | — |
— |
반복정밀도 *1 | ±4 µm |
±4 µm |
위치결정분해능 | 2 µm |
2 µm |
최소패드피치 | 180 µm *2 |
180 µm *2 |
최소패드사이즈 | 60 µm *2 |
60 µm *2 |
검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
클램프 방식 | Vacuum방식 |
Vacuum방식 |
CCD카메라 | 상면2개 |
상면2개 |
프린터 | 외장형 |
외장형 |
에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
에어사양: 용량 | 0.6 ℓ/min. |
0.6 ℓ/min. |
전원 *4 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
15 A |
15 A |
중량 | 1500 kg |
2000 kg |
외부사이즈 (mm) | ||
필요 시스템 | 1)제어용 컴퓨터 & 모니터 2)검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|
소프트웨어 | 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10) | |
프로브 타입 | 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당)이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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