- 프린트 기판 검사 장치
획기적인 8프로브 시스템.
분당 10,000 포인트 이상이라는 경이적인 검사 속도를 실현.
E8시리즈
표준 타입
E8M6151
기판 양면에 각 4개의 프로브 배치. 자유롭게 고속으로 이동하여 경이적인 검사 속도를 실현 합니다. 각 프로브의 동작 효율을 최대한 올려 정교한 소프트웨어와 함께 검사 속도의 대폭 상승을 가능하게 했습니다. 그 속도는 분당 10,000 포인트 이상이며 위치 결정 분해능 2 μm, 반복 정밀도 ±4 μm라는 높은 수준을 유지하고 있습니다.
대형 타입
E8M8161 NEW
최대 검사 에리어 810 x 610 mm인 대형 타입. 대형 기판을 대응하면서 초고속 검사가 가능합니다.
E8시리즈 사양
| E8M6151 | E8M8161 | |
|---|---|---|
| 최대검사에리어 | 610 x 510 mm |
810 x 610 mm |
| 검사프로브수 | 전면4개, 후면4개 |
전면4개, 후면4개 |
| 최소기판사이즈 | 60 x 75 mm |
100 x 100 mm |
| 최대기판두께 | 9 mm |
9 mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 3 mm *1 |
클램프 영역 끝에서 3 mm *1 |
| 반복정밀도 *2 | ±4 µm |
±4 µm |
| 위치결정분해능 | 2 µm |
2 µm |
| 최소패드피치 | 100 µm *3 |
120 µm *3 |
| 최소패드사이즈 | 50 µm *4 |
50 µm *4 |
| 검사전압 | 통전검사시: 0–10 V |
통전검사시: 0–10 V |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
통전검사시: 2.5 µA–150 mA |
| 클램프 방식 | 자동클램프 |
자동클램프 |
| CCD카메라 | 전면4개, 후면4개 |
전면4개, 후면4개 |
| 프린터 | 외장형 |
외장형 |
| 에어사양: 압력 | 0.5 MPa |
0.5 MPa |
| 에어사양: 용량 | 3.5 ℓ/min. |
3.5 ℓ/min. |
| 전원 *6 단상AC200–240 V 50/60 Hz |
20 A |
20 A |
| 중량 | 2000 kg |
2200 kg |
| 외부사이즈 (mm) |
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| 필요 시스템 | 1）제어용 컴퓨터 & 모니터 2）검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 * 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 * 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
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| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS: Windows 7 / Windows 8 / Windows 10) | |
| 프로브 타입 | 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. | |
| 동작환경 | 21–24℃、30–70% (상대습도) * 결로, 티끌, 먼지 (클린룸 ISO클래스7(Federal standard 209E 클래스1만상당）이상 추천), 진동, 부식성 가스가 없을 것. 대기압 이슬점: −14℃이하 (0.7 MPa시, 압력이하 이슬점15℃이하) 오일 미스트 농도: 1 mg/㎥ (ANR) 이하 |
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