MicroCraft

  • TDR測定装置

画期的な片面TDR測定システム。

F1T6060 / F2T6060

F1T/F2T6060

自動片面TDR測定システム
F1T6060(1プローブ)NEW
F2T6060(2プローブ)NEW
シングルエンドと差動インピーダンス測定が可能。独自の回転ヘッドと除電装置(イオナイザー)を標準装備。オプションでオートローダー/アンローダーも取付可能です。

プローブトップチェンジャー オプション

プローブトップチェンジャー(オプション)

従来、シングルエンドプローブ先端に装着するプローブトップは、測定するパターンピッチに応じてプローブトップを交換する必要がありました。しかし、プローブトップチェンジャーはプローブユニットが交換位置まで移動し、自動でプローブトップの脱着を行います。チェンジャーには5種類までセットが可能で、複数のパターンピッチが存在する基板の測定では交換する手間が省け、測定効率の向上が見込まれます。

F1T/F2T6060 スペック

F1T6060(1プローブ) F2T6060(2プローブ)
最大検査エリア

610 x 610 mm

470 x 510 mm

最大基板サイズ

620 x 620 mm

520 x 520 mm

最小基板サイズ

40 x 40 mm

40 x 40 mm *1

最大基板厚

10 mm

10 mm

クランプ方式

手動クランプまたはバキュームクランプ(オプション) *2

手動クランプまたはバキュームクランプ(オプション) *2

プローブ回転角

シングルエンドプローブ:360°
ディファレンシャルプローブ:±90°

シングルエンドプローブ:360°
ディファレンシャルプローブ:±90°

繰返し精度X–Y

±10 µm

±10 µm

繰返し精度 θ

インピーダンス精度 *3

シングルエンドプローブ:50 Ω±1%
ディファレンシャルプローブ:100 Ω±1%

シングルエンドプローブ:50 Ω±1%
ディファレンシャルプローブ:100 Ω±1%

エアー仕様:圧力

0.5 MPa

0.5 MPa

エアー仕様:容量

50 ℓ/min.

50 ℓ/min.

電源
単相AC200–240 V 50/60 Hz

5 A

8 A

重量

830 kg

850 kg

外形図(mm)

必要システム

制御用PC&モニター *4

動作環境 21–24℃、30–70%(相対湿度)
* 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください
大気圧露点:−14℃以下(0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下)
オイルミスト濃度:1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 2プローブが接近できる距離には制約がありますので、1プローブで測定する場合に対応可能なサイズです。*2 別途バキュームポンプが必要となります。*3 キャリブレーション実施後の環境温度変化±2℃において。*4 仕様については営業にご確認ください。

対応測定器 *5

テクトロニクス

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B/C

キーサイト・テクノロジー

E5063A+オプションTDR
E5071C+ENAオプションTDR
86100A/B/C
54750
N5224B

テレダイン・レクロイ

WaveExpert100H+ST-20

マイクロクラフト

MZ30
MZ50

*5 仕様については営業にご確認ください。計測器等は別売です。

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