MicroCraft

  • TDR測定装置

超高周波プローブ対応機種

E1T6151 / E2T6151

E1T/E2T6151

ムービングプローブTDR測定装置
E1T6151(1プローブ)NEW
E2T6151(2プローブ)NEW
TDRのハイエンドユーザー向けインピーダンス測定システム。高精度メカニカルステージを組み込み、ファインピッチ基板の検査が可能です。

E1T/E2T6151 スペック

E1T6151(1プローブ) E2T6151(2プローブ)
最大検査エリア

450 x 410 mm

360 x 410 mm

クランプ方式

バキューム方式・TDRマルチクランプ方式

バキューム方式・TDRマルチクランプ方式

プローブ回転角

325°(シングルエンドプローブ)
235°(ディファレンシャルプローブ90°配置)
145°(ディファレンシャルプローブ180°配置)

325°(シングルエンドプローブ)
235°(ディファレンシャルプローブ90°配置)
145°(ディファレンシャルプローブ180°配置)

繰返し精度X–Y

±4 µm

±4 µm

繰返し精度 θ

インピーダンス精度 *1

50 Ω±1%

50 Ω±1%

エアー仕様:圧力

0.5 MPa

0.5 MPa

エアー仕様:容量

3.5 ℓ/min.

3.5 ℓ/min.

電源
単相AC200–240 V 50/60 Hz

6 A

8 A

重量

1100 kg

1150 kg

外形図(mm)

必要システム

制御用PC&モニター *2

動作環境 21–24℃、30–70%(相対湿度)
* 結露、塵、埃、振動のないこと ※腐食性のガスがある環境では使用しないでください
大気圧露点:−14℃以下(0.7 MPa時、圧力下露点15℃以下)
オイルミスト濃度:1 mg/㎥ (ANR) 以下

*1 キャリブレーション実施後の環境温度変化±2℃において。*2 仕様については営業にご確認ください。

対応測定器 *3

テクトロニクス

DSA8300
DSA8200
TDS8000
11801B/C

キーサイト・テクノロジー

E5063A+オプションTDR
E5071C+ENAオプションTDR
86100A/B/C
54750
N5224B

テレダイン・レクロイ

WaveExpert100H+ST-20

マイクロクラフト

MZ30
MZ50

*3 仕様については営業にご確認ください。計測器等は別売です。

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