측정시스템
EMMA시리즈는 Fixtureless Type의 통전검사기로서 세계의 주류가 되어 있는 Moving Probe형 BareBoard검사장치입니다. 고속으로 이동하는 4개/8개의 가동형 컨택프로브가 BareBoard의 통전・절연시험을 양면에서 동시에 실시합니다. 지그가 필요하지 않으므로 검사준비시간이 적게들고 생산로트가 적은 제품이나 파인피치의 다층기판도 단시간에 테스트를 종료할 수 있습니다. EMMA의 도입으로 불량율이 격감하고 공장의 생산성, 신뢰성 또한 비약적으로 향상됩니다.
위상차측정에 비하여 보다 고저항절연불량 검출이 가능한 측정시스템이 [HVS(High Voltage Stressing Test)]입니다. 위상차측정처럼 전네트의 1회 검사만으로 종래의 저항측정에 의한 절연검사에 비하여 몇배의 검사속도를 실현하고 있습니다. 그리고, 절연검사처럼 신호선사이에 고전압을 인가(印可)하여 고저항 절연불량의 검출과 대압(耐圧)검사를 실시할 수 있는 획기적인 측정시스템입니다. 이러한 HVS검사는 현재의 EMMA시리즈에 옵션으로 적용이 가능합니다.
고정밀의 저항치 측정유닛
저저항측정으로 보다 정도(精度)가 높은 측정이 가능한 4선4단자 측정방식(Kelvin Probe)을 사용이 가능합니다. 또한, 매립(Embedded)저항의 측정과 측정치의 보존이 가능한 옵션도 준비되어 있습니다.
| 최소분해능: 0.01mΩ 프로브의 접촉불량도 검사가능 |
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| 렌지 | 분해능 | 실제렌지 | 전류 | 적용 |
| 0-4mΩ | 0.001mΩ | 0.4-3mΩ | 150mA | 캘빈프로브 사용시 |
| 0-40mΩ | 0.01mΩ | 2-30mΩ | 125mA | 캘빈프로브 사용시 |
| 0-400mΩ | 0.1mΩ | 30-300mΩ | 125mA | 캘빈프로브 사용시 |
| 0-4Ω | 1mΩ | 0.3-3Ω | 125mA | 캘빈프로브 사용시 |
| 0-10Ω | 2.5mΩ | 0.5-8Ω | 10mA | |
| 0-100Ω | 25mΩ | 5-80Ω | 10mA | |
| 0-1000Ω | 250mΩ | 50-800Ω | 2.65mA | |
| 0-10kΩ | 2.5Ω | 500-8kΩ | 0.265mA | |
| 0-100kΩ | 25Ω | 5k-80kΩ | 26.5µA | 매립저항 측정시 |
| 0-1MΩ | 250Ω | 50k-800kΩ | 2.65µA | 매립저항 측정시 |
절연검사시의 접촉확인(Contact Check)
절연검사의 정도(精度)를 더욱 높이기위해 프로브가 바르게 패드에 접촉되어 있는 지를 전기적으로 미리 체크할 수 있습니다. 또한, 패드를 탐색할 때에도 접촉확인 기능이 유효하게 기능합니다.
Latent테스트는 패턴검사에 있어서 현재의 불량만이 아니라 가까운 미래에 결함이 발생될 가능성이 있는 잠재적 불량부분을 예측하여 검출할 수 있는 획기적인 품질보증 시스템입니다. 잠재적인 결함이 있는 패턴은 우측의 그림과 같이 커다란 전류로 온도가 상승하면 저항의 변화가 Non linear형태가 됩니다. 이러한 변화를 고속고정도로 검출하여 잠재적인 결함을 발견합니다.
통상적으로는 30-250V의 인가에 의한 절연저항측정으로, 옵션으로 1-250V/500V/1000V인가에 의한 신뢰성 높은 고전압 절연검사도 가능합니다.
GPIB인터페이스와 Ethernet접속으로 제어가능한 외부측정기를 접속하는 것으로、1테라Ω의 초절연측정과 초고전압측정、LCR과 다이오드등의 측정에 대응이 가능합니다.
절연검사를 실시할 때, 급격히 고전압을 걸게되면 마이크로쇼트부분이 연소되어, 탄화잔류물이 공기중의 수분 및 공장내의 가스와 반응하여 검사종료후에 고저항 절연불량으로 재발할 우려가 있습니다. [마이크로쇼트검사]는, 고전압을 걸기전에 30V이하의 저전압으로 검사를 실시하여 연소에 의한 트러블을 방지합니다. 또, 다층기판의 층간 고저항 절연불량은 반도체나 콘덴서의 특성을 갖는 경우가 있습니다. 검사시에 고전압의 극성을 바꾸는 것으로 이러한 불량부분도 발견할 수 있습니다.
