M시리즈
| 최대검사에리어 | 1200x800mm / 1520x810mm |
|---|---|
| 검사프로브수 | 전면2개, 후면2개 |
| 최소기판사이즈 | 35x65mm |
| 최대기판두께 | 13mm |
| 반복정밀도 | ±4µm |
| 위치결정분해능 | 6µm |
| 최소패드피치 *1 | 180µm |
| 최소패드사이즈 *2 | 80µm |
| 검사전압 | 통전검사시: 0-10V 절연검사시: 250V(500V/1000V option) |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.65µA-150mA |
| 크램프방식 | 자동크램프 |
| CCD카메라 | 전면2개, 후면2개 |
| 모니터 | 없음 |
| 프린터 | 외장형 |
| 에어사양 | 압력: 0.5MPa, 용량: 5.7ℓ/min. |
| 전원 *3 | 15A (단상 AC200-240V 50/60Hz) |
| 중량 | 1670kg / 1800kg |
| 외부사이즈 |   |
| *1 | 프로브(T96MC-PB-0R40)사용시 |
| *2 | 프로브(T96MC-PB-0B00)사용시 |
| *3 | 전원투입시, 정격전류10배의 돌입전류가 발생하는 경우가 있습니다. 설비측 브레이커는 이러한 돌입전류로 오작동이 발생하지 않는 것을 선택하여 주십시요. |
| 필요시스템 | 1) 제어용PC & 모니터 2) 검사점 자동작성소프트 편집용PC & 모니터 † 상기 1), 2)는 １대의 PC및 모니터를 병용할 수 있습니다. † PC의 사양에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요. |
|---|---|
| 소프트웨어 | 조작용의 EMMA2010은 표준장비, 그 외는 옵션 |
| 프로브타입 | 프로브의 용도에 따라 준비되어 있습니다. 모델에 따라 장착가능한 타입이 다릅니다. 각 스펙의 상세한 내용에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요. |
| 동작환경 | 21-24°C, 30-70%(상대습도) † 이슬,먼지,오물,진동이 없을 것 † 부식성의 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시요. |
