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S시리즈

E4S6151/E4S3325

Type8 프로브를 장착하여, 초고정밀의 검사를 가능하게 했습니다. E4S6151는 표준 크기 기판에 대응하고 있으며, 최소 패드 크기 15μm, 최소 패드 피치 45μm입니다. E4S3325는 일반적인 CSP나 플립 칩 등의 패키지 기판을 대상으로 하고 있으며, 최소 패드 크기 10μm, 최소 패드 피치 40μm입니다. (Type8프로브 자세한 내용은 이쪽으로

E4S6151/E4S3325의 주요사양
최대검사에리어610x510mm / 330x250mm
검사프로브수전면2개, 후면2개
최소기판사이즈 60x65mm / 40x35mm
최대기판두께9mm
검사 불가 영역클램프 영역 끝에서 1mm *1
반복정밀도 ±2µm / ±1µm
위치결정분해능1µm / 1µm
최소패드피치 *245µm / 40µm
최소패드사이즈 *315µm / 10µm
검사전압통전검사시: 0-10V
절연검사시: 250V (500V/1000V option)
검사전류통전검사시: 2.5µA-150mA
크램프방식오토 클램프
CCD카메라전면2개, 후면2개
모니터없음
프린터외장형
에어사양압력: 0.5MPa, 용량: 3.5ℓ/min.
전원 *410A (단상 AC200-240V 50/60Hz)
중량 1150kg / 1200kg
외부사이즈외부사이즈
*1니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다.
*2프로브(T96MC-PB-0R40)사용시
*3프로브(T96MC-PB-0B00)사용시
*4전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오.
필요시스템 그 외
필요 시스템1) 제어용 컴퓨터&모니터
2) 검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터
1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다
컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션.
(대응 OS는 Windows7 / Windows 8 / Windows 10)
프로브 타입프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다.
모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에,
자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경21-24°C, 30-70%(상대습도)
결로, 먼지, 티끌, 진동이 없을 것
부식성 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시오.
대기압노점: -14°C이하(0.7MPa시, 압력하 노점15°C이하)
오일미스트농도:1mg/㎥ (ANR)이하