S시리즈
Type8 프로브를 장착하여, 초고정밀의 검사를 가능하게 했습니다. E4S6151는 표준 크기 기판에 대응하고 있으며, 최소 패드 크기 15μm, 최소 패드 피치 45μm입니다. E4S3325는 일반적인 CSP나 플립 칩 등의 패키지 기판을 대상으로 하고 있으며, 최소 패드 크기 10μm, 최소 패드 피치 40μm입니다. （Type9프로브 자세한 내용은 이쪽으로）
| 최대검사에리어 | 610x510mm / 330x250mm |
|---|---|
| 검사프로브수 | 전면2개, 후면2개 |
| 최소기판사이즈 | 60x65mm / 40x35mm |
| 최대기판두께 | 9mm |
| 검사 불가 영역 | 클램프 영역 끝에서 1mm *1 |
| 반복정밀도 | ±2µm / ±1µm |
| 위치결정분해능 | 1µm / 1µm |
| 최소패드피치 *2 | 45µm / 40µm |
| 최소패드사이즈 *3 | 15µm / 10µm |
| 검사전압 | 통전검사시: 0-10V 절연검사시: 250V (500V/1000V option) |
| 검사전류 | 통전검사시: 2.5µA-150mA |
| 크램프방식 | 오토 클램프 |
| CCD카메라 | 전면2개, 후면2개 |
| 모니터 | 없음 |
| 프린터 | 외장형 |
| 에어사양 | 압력: 0.5MPa, 용량: 3.5ℓ/min. |
| 전원 *4 | 10A (단상 AC200-240V 50/60Hz) |
| 중량 | 1150kg / 1200kg |
| 외부사이즈 |  |
| *1 | 니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다. |
| *2 | 프로브(T96MC-PB-0R40)사용시 |
| *3 | 프로브(T96MC-PB-0B00)사용시 |
| *4 | 전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오. |
| 필요 시스템 | 1) 제어용 컴퓨터&모니터 2) 검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터 † 1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다 † 컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오. |
|---|---|
| 소프트웨어 | 조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션. (대응 OS는 Windows7 / Windows 8 / Windows 10) |
| 프로브 타입 | 프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다. 모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에, 자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오. |
| 동작환경 | 21-24°C, 30-70%(상대습도) † 결로, 먼지, 티끌, 진동이 없을 것 † 부식성 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시오. † 대기압노점: -14°C이하(0.7MPa시, 압력하 노점15°C이하) † 오일미스트농도:1mg/㎥ (ANR)이하 |
