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AL시리즈

E4M6151AL

오토로더장착 중대량 생산타입

기판반송방식: 컨베이어 방식
최대 적재수
오토 로더부: 200매 (기판 두께 1.6mm시•최대 적재 80kg)
언로더부: OK기판 200매•NG기판 60매 (기판 두께 1.6mm시•최대 적재 80kg)
OK/NG스탬프 기구 부착(옵션), 멀티 이미지 기판에 대응
기판반송방식: Inline방식

* 다른 사이즈의 기판도 동시에 세팅이 가능합니다.
* OK/NG수납고를 별도로 배치하여 양/불 기판을 분류할 수도 있습니다.
* 기존의 E4M6151는 오토 로더와 연결할 수 없습니다

E4M6151AL의 주요사양
최대검사에리어610x510mm
최대 반송 기판 사이즈620x520mm
검사프로브수전면2개, 후면2개
최소기판사이즈 60x100mm *1
최소 반송 기판 사이즈100x100mm
최대기판두께0.5-5.0mm *2
최대 허용 중량3kg *3
클램프 영역3-10mm
검사 불가 영역클램프 영역 단에서 1mm *4
반복정밀도 ±4µm
위치결정분해능 2µm
최소패드피치 *5 100µm
최소패드사이즈 *6 30µm
검사전압통전검사시: 0-10V
절연검사시: 250V (500V/1000V option)
검사전류통전검사시: 2.5µA-150mA
크램프방식자동크램프
CCD카메라상면2개, 하면2개
모니터내장형
프린터내장형
에어사양압력: 0.5MPa, 용량: 150ℓ/min.
전원 *7 15A (단상 AC200-240V 50/60Hz)
본체 / 로더부 / 언로더부 2260kg (1100kg / 580kg / 580kg)
외부사이즈외부사이즈
*1로더를 통하지 않고 검사부에 직접 기판을 클램프 시키는 것이 가능한 크기입니다.
*2기판의 휨은 기판 두께를 포함하여 5mm이내. 최소 기판 두께는 수직으로 유지하고 휨이나 처짐 없이 유지될 경우에 한합니다.
*3로더 픽업부에는 흡착 패드가 10 개소 이상 흡착할 수 있는 경우로 한정합니다.
*4니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다.
*5프로브(T96MC-PB-0R40)사용시
*6프로브(T96MC-PB-0B00)사용시
*7전원투입시, 정격전류10배의 돌입전류가 발생하는 경우가 있습니다. 설비측 브레이커는 이러한 돌입전류로 오작동이 발생하지 않는 것을 선택하여 주십시요.
필요시스템 그 외
필요시스템1) 제어용PC & 모니터
2) 검사점 자동작성소프트 편집용PC & 모니터
상기 1), 2)는 1대의 PC및 모니터를 병용할 수 있습니다.
PC의 사양에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요.
소프트웨어조작용의 EMMA2010은 표준장비, 그 외는 옵션
프로브타입프로브의 용도에 따라 준비되어 있습니다.
모델에 따라 장착가능한 타입이 다릅니다.
각 스펙의 상세한 내용에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요.
동작환경21-24°C, 30-70%(상대습도)
이슬,먼지,오물,진동이 없을 것
부식성의 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시요.