1. HOME
  2. 제품안내
  3. 프린트기판 검사장치
  4. 라인업
  5. E4M6151AL/E4H6151AL/E4S6151AL

AL시리즈

E4M6151AL

수직 타입의 오토 로더 장착 EMMA 입니다. 검사부의 좌우에 신개발의 오토 로더/언로더를 연결하여 기판 검사를 24시간 무인 운전할 수 있습니다. 오토 로더부에 기판을 세팅하면 흡착 패드가 자동으로 기판을 흡착하여 컨베이어 레일까지 운반합니다. 컨베이어 레일에 오른 기판은 중앙 검사부에 반송되고 검사가 시작됩니다. 검사 종료 후, 기판은 신속하게 언로더에 반송되어 양품 기판과 불량 기판은 각각의 스토커에 배분되기 때문에 혼입 우려가 없습니다.

오토 로더 / 언로더

기판 반송 방식: 컨베이어 방식
[ 최대 스톡수 ]
오토 로더부: 200매(기판 두께 1.6mm 일 경우, 최대 적재 80 kg)
언로더부: OK 기판 200매·NG 기판 60매(기판 두께 1.6mm일 경우, 최대 적재 80kg)
OK / NG 스탬프 기구부(옵션), 멀티 이미지 기판에 대응
기판반송방식: Inline방식

* 다른 크기의 기판도 동시에 세팅이 가능합니다
* OK / NG 스토커를 따로 배치하여 나눠 놓을 수 있습니다
* 기존의 E4M / E4H / E4S는 오토 로더와 접속할 수 없습니다

E4M6151AL/E4H6151AL/E4S6151AL의 주요사양
최대검사에리어610x510mm
최대 반송 기판 사이즈620x520mm
검사프로브수전면2개, 후면2개
최소기판사이즈 60x100mm *1
최소 반송 기판 사이즈100x100mm
최대기판두께0.5-5.0mm *2
최대 허용 중량3kg *3
클램프 영역3-10mm
검사 불가 영역클램프 영역 끝에서 1mm *4
반복정밀도 ±4µm / ±4µm / ±2µm
위치결정분해능 2µm / 2µm / 1µm
최소패드피치 *5 100µm / 50µm / 50µm
최소패드사이즈 *6 30µm / 20µm / 15µm
검사전압통전검사시: 0-10V
절연검사시: 250V (500V/1000V option)
검사전류통전검사시: 2.5µA-150mA
크램프방식자동크램프
CCD카메라상면2개, 하면2개
모니터내장형
프린터내장형
에어사양압력: 0.5MPa, 용량: 150ℓ/min.
전원 *7 15A (단상 AC200-240V 50/60Hz)
본체 / 로더부 / 언로더부 2260kg / 2310kg / 2310kg
외부사이즈외부사이즈
*1로더를 통하지 않고 검사부에 직접 기판을 고정할 수 있는 크기입니다.
*2기판 휨 상태는 기판 두께를 포함하여 5mm이내. 최소 기판 두께는 수직으로 유지하여 휨이나 굴곡 없이 자립하는 경우에 한정합니다.
*3로더 픽업부에 흡착 패드가 10개 이상 흡착할 수 있는 경우에 한정합니다.
*4니들 프로브의 경우. 다른 프로브의 경우는 다릅니다.
*5E4M, E4H: 프로브(T96MC-PB-0R40)사용시
E4S: 프로브(T98MC-PB-0R80)사용시
*6E4M, E4H: 프로브(T96MC-PB-0B00)사용시
E4S: 프로브(T98MC-PB-0B00)사용시
*7전원 투입 시에 정격 전류 10배의 돌입 전류가 흐를 수 있습니다. 설비측 차단기는 이 돌입 전류로 오동작하지 않는 것을 선택해 주십시오.
필요시스템 그 외
필요 시스템1) 제어용 컴퓨터&모니터
2) 검사점 자동 작성 소프트웨어 편집용 컴퓨터 & 모니터
1) 과 2)는 1대의 컴퓨터 및 모니터를 병용할 수 있습니다
컴퓨터 사양에 대해서는 영업에게 확인해 주십시오.
소프트웨어조작용 EMMA2010은 표준 장비, 그 외는 옵션.
(대응 OS는 Windows7 / Windows 8 / Windows 10)
프로브 타입프로브는 용도에 따라 각종 준비되어 있습니다.
모델에 따라 설치 가능 타입이 다르기 때문에,
자세한 내용은 영업에게 확인해 주십시오.
동작환경21-24°C, 30-70%(상대습도)
결로, 먼지, 티끌, 진동이 없을 것
부식성 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시오.
대기압노점: -14°C이하(0.7MPa시, 압력하 노점15°C이하)
오일미스트농도:1mg/㎥ (ANR)이하