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H시리즈

E4H6151/E4H3325

E4H6151/E4H3325의 주요사양
최대검사에리어610x510mm / 330x250mm
검사프로브수전면2개, 후면2개
최소기판사이즈 60x65mm / 40x35mm
최대기판두께9mm
반복정밀도 ±4µm / ±2µm
위치결정분해능2µm / 1µm
최소패드피치 *150µm / 40µm
최소패드사이즈 *215µm / 10µm
검사전압통전검사시: 0-10V
절연검사시: 250V (500V/1000V option)
검사전류통전검사시: 2.5µA-150mA
크램프방식자동크램프 *3
CCD카메라전면2개, 후면2개
모니터없음
프린터외장형
에어사양압력: 0.5MPa, 용량: 3.5ℓ/min.
전원 *410A (단상 AC200-240V 50/60Hz)
중량 1150kg / 1200kg
외부사이즈외부사이즈
*1프로브(T96MC-PB-0R40)사용시
*2프로브(T96MC-PB-0B00)사용시
*3사이드 클램프 대응(옵션)
*4전원투입시, 정격전류10배의 돌입전류가 발생하는 경우가 있습니다. 설비측 브레이커는 이러한 돌입전류로 오작동이 발생하지 않는 것을 선택하여 주십시요.
필요시스템 그 외
필요시스템1) 제어용PC & 모니터
2) 검사점 자동작성소프트 편집용PC & 모니터
상기 1), 2)는 1대의 PC및 모니터를 병용할 수 있습니다.
PC의 사양에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요.
소프트웨어조작용의 EMMA2010은 표준장비, 그 외는 옵션
프로브타입프로브의 용도에 따라 준비되어 있습니다.
모델에 따라 장착가능한 타입이 다릅니다.
각 스펙의 상세한 내용에 관해서는 영업과로 확인하여 주십시요.
동작환경21-24°C, 30-70%(상대습도)
이슬,먼지,오물,진동이 없을 것
부식성의 가스가 있는 환경에서는 사용하지 말아 주십시요.