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ALシリーズ

E8M6151AL

縦型タイプのオートローダー付EMMAです。
検査部の左右に新開発のオートローダー/アンローダーを接続し、基板の検査を24時間無人運転で行うことが可能です。オートローダー部に基板をセットすれば、吸着パッドが自動で基板を吸着し、コンベアレールまで運びます。コンベアレールにのった基板は中央の検査部へ搬送され検査が開始されます。検査終了後、基板は速やかにアンローダーに搬送され、良品基板と不良基板はそれぞれのスタッカーに振り分けられるため混入の心配がありません。

オートローダー/アンローダー

基板搬送方式:コンベア方式
●最大ストック数
オートローダー部: 200枚(基板厚1.6mm時、最大積載80kg)
アンローダー部: OK基板200枚・NG基板60枚(基板厚1.6mm時、最大積載80kg)
●OK/NGスタンプ機構付(オプション)・マルチイメージ基板に対応

コンベア方式
※異なるサイズの基板も同時にセットできます
※OK/NGストッカーを別に配置して置き分けることができます
※既存のE8Mはオートローダーと接続できません

主な仕様
最大検査エリア610×510mm
最大搬送基板サイズ620×520mm
検査プローブ数前面4本、後面4本
最小基板サイズ 100×100mm *1
最小搬送基板サイズ225×225mm
基板厚さ0.5〜5.0mm *2
最大可搬重量3kg *3
クランプエリア3〜10mm
検査不可領域クランプエリア端より1mm *4
繰返し精度±4µm
位置決め分解能2µm
最小パッドピッチ *5100µm
最小パッドサイズ *650µm
検査電圧導通検査時:0〜10V
絶縁検査時:250V (500V/1000V<オプション>)
検査電流導通検査時:2.5µA〜150mA
クランプ方式自動クランプ
CCDカメラ前面4台、後面4台
プリンター外付
エアー仕様圧力:0.5MPa、容量:150ℓ/min
電源 *720A(単相 AC200〜240V 50/60Hz)
重量3360kg
寸法図寸法図
*1ローダーを介さず検査部に直接基板をクランプさせることが可能なサイズです。
*2基板反りは基板厚さ含めて5mm 以内。最小基板厚さは垂直に保持して反り・たわみなく自立する場合に限ります。
*3ローダーピックアップ部については吸着パッドが10 ヶ所以上吸着できる場合に限ります。
*4ニードルプローブの場合。他のプローブの場合は異なります。
*5プローブ(TIPRB-PB-N110、TIPRB-PB-N111)使用時。
*6プローブ(TIPRB-PB-B210、TIPRB-PB-B211)使用時。
*7電源投入時に定格電流の10倍の突入電流が流れる場合があります。設備側ブレーカはこの突入電流で誤動作しないものを選択して下さい。
必要システムその他
必要システム1)制御用PC&モニター
2)検査点自動作成ソフト編集用PC&モニター
上記 1), 2)は1台のPC及びモニターを併用できます。
PCの仕様については営業に確認してください。
ソフトウェア操作用のEMMA2010は標準装備、その他はオプション。
(対応OSは、Windows 7 / Windows 8 / Windows 10)
プローブタイププローブは用途に応じて各種用意しています。
モデルによって取付可能タイプが異なります。
各スペックの詳細については営業にご確認下さい。
動作環境● 21〜24℃、30〜70%(相対湿度)
結露、塵、埃、振動のないこと。
腐食性のガスがある環境では使用しないでください。
● 大気圧露点: -14℃以下(0.7MPa時、圧力下露点15℃以下)
● オイルミスト濃度: 1mg/㎥ (ANR) 以下