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Sシリーズ

E4S6151/E4S3325

Type8プローブを装備することにより、超高精度な検査を可能にしました。E4S6151は、標準的な大きさの基板に対応しており、最小パッドサイズ15µm、最小パッドピッチ45µmです。E4S3325は、一般的なCSP やフリップチップなどのパッケージ基板をターゲットにしており、最小パッドサイズ10µm、最小パッドピッチ40µmです。(Type8プローブの詳細はこちら

E4S6151/E4S3325の主な仕様
最大検査エリア610×510mm / 330×250mm
検査プローブ数前面2本、後面2本
最小基板サイズ 60×65mm / 40×35mm
最大基板厚さ9mm
検査不可領域クランプエリア端より1mm *1
繰返し精度±2µm / ±1µm
位置決め分解能1µm / 1µm
最小パッドピッチ *245µm / 40µm
最小パッドサイズ *3 15µm / 10µm
検査電圧導通検査時:0〜10V
絶縁検査時:250V (500V/1000V<オプション>)
検査電流導通検査時:2.5µA〜150mA
クランプ方式自動クランプ
CCDカメラ前面2台、後面2台
プリンター外付
エアー仕様 圧力:0.5MPa、容量:3.5ℓ/min
電源 *410A(単相 AC200〜240V 50/60Hz)
重量 1150kg / 1200kg
寸法図寸法図
*1ニードルプローブの場合。他のプローブの場合は異なります。
*2プローブ(T98MC-PB-0R80)使用時。
*3プローブ(T98MC-PB-0B00)使用時。
*4電源投入時に定格電流の10倍の突入電流が流れる場合があります。設備側ブレーカはこの突入電流で誤動作しないものを選択して下さい。
必要システムその他
必要システム1)制御用PC&モニター
2)検査点自動作成ソフト編集用PC&モニター
上記 1), 2)は1台のPC及びモニターを併用できます。
PCの仕様については営業に確認してください。
ソフトウェア操作用のEMMA2010は標準装備、その他はオプション。
(対応OSは、Windows 7 / Windows 8 / Windows 10)
プローブタイププローブは用途に応じて各種用意しています。
モデルによって取付可能タイプが異なります。
各スペックの詳細については営業にご確認下さい。
動作環境● 21〜24℃、30〜70%(相対湿度)
結露、塵、埃、振動のないこと。
腐食性のガスがある環境では使用しないでください。
● 大気圧露点: -14℃以下(0.7MPa時、圧力下露点15℃以下)
● オイルミスト濃度: 1mg/㎥ (ANR) 以下